Манометр измеряет какое давление: Что измеряет манометр и какое давление показывает

Содержание

Как правильно подобрать манометр. Основные параметры. На что важно обратить внимание при покупке?

    Манометр подбирают к конкретной системе с учетом целого комплекса норм.

    Параметры, которые следует оценить при покупке манометра.

    1. Диапазон измерения – один из важнейших критериев при выборе манометра.

    Существует стандартный ряд давлений для манометров, согласно которому нужно выбирать соответствующее. Со стандартным рядом давлений можно ознакомиться в ГОСТ 2405-88. Приборы с верхним пределом измерений до 40 кПа включительно (до 4000 кгс/м2 включительно) относятся к напоромерам, тягомерам и тягонапоромерам, а от 60 кПа (от 0,6 кгс/см2) — к манометрам, вакуумметрам и мановакуумметрам.

    Диапазон показаний (записи) прибора должен выбираться из табл. 6 ГОСТ 2405-88.


    Диапазон измерений избыточного давления должен быть от 0 до 100 % или от 25 до 75 % диапазона показаний. Иногда можно услышать рекомендацию о выборе давления в диапазоне от 1/3 до 2/3 шкалы. Если вы возьмете прибор на слишком высокое давление, и будете снимать показания от 0 до 25 % шкалы, то увеличится погрешность снятия показаний. Если прибор будет работать в диапазоне от 75 до 100 % своей шкалы, то механизм будет находиться в постоянной перегрузке и прибор быстро выйдет из строя.

    Для примера можно пользоваться следующей простой формулой. К Вашему рабочему давлению в системе, необходимо прибавить 30% и взять следующее по порядку давление из стандартного ряда

по ГОСТ 2405-88.

    Допустим у вас в системе рабочее давление 2 Мпа. 2+30% = 2,6 Мпа, следующее порядковое значение по стандартному ряду это 4 Мпа. В данном случае такая шкала будет предпочтительней. 

    2. Единицы измерения.

    Очень важно при покупке манометра определиться не только с давлением, но и с единицами измерения.

    В Международной системе единиц физических величин (СИ) давление измеряется в паскалях. Паскаль равен давлению, вызываемому силой, равной одному ньютону, равномерно распределённой по нормальной к ней поверхности, площадью один квадратный метр.

    Т.к. Паскали- это общепринятые системные единицы измерения, всем нашим потребителям мы рекомендуем применять именно их. Давление выше 10 атм, принято переводить в МПа, все что ниже, рекомендуется переводить в кПа.

    Зачастую у нашего потребителя существует необходимость измерять давление в нестандартных единицах, у нашей компании есть возможность изготовления таких приборов от 1 шт.

    В качестве внесистемных единиц измерения давления допущены к использованию следующие единицы:

  • бар;
  • килограмм-сила на квадратный сантиметр;
  • миллиметр водяного столба;
  • метр водяного столба;
  • атмосфера техническая;
  • миллиметр ртутного столба.

    Полезно знать, как перевести единицы измерения самостоятельно, либо можно воспользоваться конвертером ед. измерения давления в интернете.

1 кгс/см2=10.000 кгс/м2 =1 бар=1 атм=0.1 Мпа=100 кПа=

100.000 Па =10.000 мм.вод.ст.= 750 мм. рт. ст.= 1000 мБар

    3. Класс точности — это допустимый процент погрешности измерения от шкалы измерения. Класс точности приборов должен выбираться из ряда: 0,4; 0,6; 1,0; 1,5; 2,5; 4,0.

    Соответствие диаметра или размера лицевой панели корпуса классу точности приведено в табл. 1 ГОСТ 2405-88

    Определить несоответствие класса точности может аккредитованная лаборатория, у которой есть поверочная установка с эталонным манометром с классом точности в четыре раза меньше, чем класс точности поверяемого манометра.

    4. Диаметр корпуса манометра. Стандартный ряд диаметров для манометров: 40, 50, 60, 63, 80, 100, 150, 160, 250 мм. Если в процессе производства работник имеет возможность подойти к прибору близко, менее 2 м, то можно остановить свой выбор на манометре среднего диаметра, 100 мм, но если нахождение поблизости прибора не осуществимо и составляет от 2 до 5 м, тогда следует остановить свой выбор на манометре большего диаметра, не менее 160 мм. Оператор должен быть способен считывать показания с манометра о давлении в системе.

    Более подробно о диаметре можно прочитать в нашей статье «Номинальный диаметр корпуса приборов» 

    5. Расположение штуцера. Существует две разновидности: радиальный штуцер (манометр, у которого штуцер выходит снизу) и осевой штуцер (присоединительный штуцер расположен сзади, с тыльной части прибора). Присоединение манометров с осевым штуцером часто называют торцовое или тыльное. При осевом присоединения выделяют аксиальное/центральноосевое (по центру) и эксцентричное (со смещением).

радиальный штуцер

центрально-осевой штуцер

эксцентрично-осевой штуцер


    6. Присоединительная резьба. Для манометров наиболее характерны метрическая, трубная и коническая виды резьбы.

    Для приборов импортного производителя характерна трубная и коническая резьбы. Для российских манометров – метрическая. Для упрощения подбора манометра или сокращения срока поставки применяются переходники со стандартной резьбы завода-производителя на резьбу присоединения прибора к процессу.

 

    7. Измеряемая среда. Следующий этап – необходимо определиться со средой.  

    В зависимости от измеряемой среды – пар, газ или жидкость, используются различные типы приборов, а в некоторых случаях необходима комплектация дополнительным оборудованием. Имеются специфические особенности измерения агрессивных, вязких, высокотемпературных, низкотемпературных, «грязных» сред и др. Рассмотрим некоторые из них.

  • при работе прибора в агрессивной среде, необходимо остановить свой выбор на приборе, выполненном п

Манометры для измерения давления

Технические характеристики манометров давления, подбор по давлению

 

 

Манометры для коммунальных нужд

Промышленные манометры

Для измерения низкого давления газа, напоромеры

Виброустойчивые манометры

Коррозионно стойкие виброустойчивые манометры

Электронтактные манометры ЭКМ

 

 

Изображение

 

 

 

 

 

 

 

 

Название

ТМ-510-М2

ТМ-110, ТМ-210, ТМ-310, ТМ-510, ТМ-610

КМ-11, КМВ-22, КМ-22

ТМ-320, ТМ-520, ТМ-620

ТМ-121, ТМ-221, ТМ-321, ТМ-521,  ТМ-621

ТМ-510.05, ТМ-610.05

Диаметр, мм

100

40, 50, 63, 100, 150

63, 100

63, 100, 150

40, 50, 63, 100, 150

100, 150

Диапазон 

0…60 кгс

-1…1000 кгс

-12.5…60 кПа

0…1000 кгс

-1…1000 кгс

0…1000 кгс

Нержавейка

Да

Да

Да

Гидро

заполнение

да

да

Резьба штуцера

М20×1,5 или G½;

М10×1 или G⅛; М12×1,5 или  G¼; М20×1,5 или G½;

М12×1,5

М20×1,5 или G½;

М12×1,5 или  G¼; М20×1,5 или G½;

G⅛; G¼;

М12×1,5 или G¼;

М20×1,5 или G½;

М20×1,5 или G½;

Штуцер

радиальный

радиальный или осевой

радиальный или осевой

радиальный или осевой

радиальный или осевой

радиальный

 

Выбрать манометры можете в каталоге. 

Рабочее давление манометра определяется по формуле Pраб. ниж.=0,25*Pmax  Pраб. верх.=0,75*Pmax, т.е. рабочее давление находится в диапазоне 0,25 … 0,75 % от максимального значения манометра. Манометры, вакуумметры и мановакуумметры показывающие предназначены для измерений избыточного и вакуумметрического давления жидкостей и газов. Принцип действия манометров основан на зависимости деформации чувствительного элемента от измеряемого давления. В качестве чувствительного элемента используется трубка Бурдона. Под воздействием измеряемого давления свободный конец трубки перемещается и с помощью специального механизма вращает стрелку манометра.

 

 

Основным узлом манометров является трубчатая пружина. При возрастании давления пружина разгибается, и перемещение её конца с помощью передаточного механизма преобразуется во вращение показывающей стрелки относительно шкалы циферблата манометра. Измеряемое давление подается в трубчатую пружину через резьбовой штуцер. Шкалы давления приборов могут быть отградуированными в кПа, МПа, кгс/см2, бар.

 

Таблица соответствия манометров различных производителей 

Росма

Метер

Манотомь

 

Wika

ТМ-110

ДМ 2018

111.10

ТМ-210

ДМ 02-50

ДМ 2029

111.10

ТМ-310

ДМ 02-063

МП2-У, МП2-УУ2, МП2

111.10

ТМ-510

ДМ 02-100

МП3-У, МП3-УУ2, МП3

111.10

ТМ-610

ДМ 02-160

МП4-У, МП4-УУ2, МП4

111.10

ТМ-810

ДМ 02-250

ДМ 8010

211.11

 ТМ-510 IP54 

МП3-УУХЛ1

 

ТМ-610 IP54

МП4-УУХЛ1

 

ТМ-610 МТИ

МПТИ

312.20

ТМ-510.05

ДМ 02-V

ДМ2010Сг, ДВ2010Сг, ДА2010Сг,   

ДМ2010Ф

 

ТМ-610.05

ДМ 02-V

ДМ 2005Сг, ДМ2005Ф

 

ТМ-511 Nh4

 

МП3А-У

 

ТМ-611 Nh4

МП4А-У

 

ТМ-320

ДМ 93-063

ДМ 8032-ВУ

 213.53.063  

ТМ-520

ДМ93-100

ДМ 8008-ВУ, М-3ВУ

213.53.100, 212.20.100

ТМ-621 Nh4

ДМ 8008А-ВУ

 

ТМ-221

 

 

131.11

ТМ-321

ДМ90-063

232.50.063, 233.50.063

ТМ-521

ДМ90-100

МП3А-Кс, М-3ВУКс


232.50.100, 233.50.100

ТМ-621

ДМ90-160

МП4А-Кс, М-4ВУКс

232.50

ТМ-521.05

PGS21.100

ТМ-621.05

 

PGS23.160

КМ-11

НМ96-063

 

612.20

КМ-22

 НМ96-100 

612.20

 

Таблица подбора манометров

Росма

 Диаметр,

мм

Класс  

точности 

Резьба штуцера

 Материал

корпуса 

Группы манометров

ТМ-110

40

2,5

G⅛, M10×1, NPT⅛

сталь

Стандартный IP40

ТМ-210

50

2,5

М12×1,5 или G¼

сталь

Стандартный IP40

ТМ-310

63

2,5

М12×1,5 или G¼

сталь

Стандартный IP40

ТМ-510

100

1,5

М20×1,5 или G½

сталь

Стандартный IP40

ТМ-610

150

1,5

М20×1,5 или G½

сталь

Стандартный IP40

ТМ-810

250

1,5

М20×1,5 или G½

сталь

Котловой IP40

ТМ-510 IP54 

100 

1,5 

М20×1,5 или G½

сталь

Стандартный исполнение IP54 

ТМ-610 IP54

150 

1,5 

М20×1,5 или G½ 

сталь 

Стандартный исполнение IP54

ТМ-610 МТИ

150 

 0,4 … 1

М20×1,5 или G½

сталь  

Образцовый

ТМ-510.05

100 

1,5 

М20×1,5 или G½

сталь  

Стандартный электроконтактный IP40

ТМ-610.05

150 

 1,5

М20×1,5 или G½

сталь  

Стандартный электроконтактный IP40

ТМ-511 Nh4

100 

1,5 

М20×1,5 или G½

 хромированная сталь 10

Аммиачный  IP65 

ТМ-611 Nh4

150 

1,5 

М20×1,5 или G½

 хромированная сталь 10

Аммиачный IP65 

ТМ-320

63 

1,5 

М12×1,5 или G¼

нержавеющая сталь 

Виброустойчивый 

ТМ-520

100 

М20×1,5 или G½

 нержавеющая сталь

Виброустойчивый 

ТМ-621 Nh4

100 

М20×1,5 или G½

нержавеющая сталь 

Аммиачный коррозионностойкий IP65 

ТМ-221

50 

2,5 

IP65

нержавеющая сталь 

Коррозионностойкий виброустойчивый IP65 

ТМ-321

63 

1,5 

М12×1,5 или G¼

нержавеющая сталь 

Коррозионностойкий виброустойчивый IP65 

ТМ-521

100 

 1

М20×1,5 или G½

 нержавеющая сталь

Коррозионностойкий виброустойчивый IP65 

ТМ-621

 150

М20×1,5 или G½

 нержавеющая сталь

Коррозионностойкий виброустойчивый IP65 

ТМ-521.05

 100

1,5 

М20×1,5

 нержавеющая сталь 

Коррозионностойкий виброустойчивый электроконтактный 

ТМ-621.05

 150

 1,5

М20×1,5

 нержавеющая сталь 

Коррозионностойкий виброустойчивый электроконтактный 

КМ-11

 63

2,5 

М12×1,5

сталь 

Напоромер (низких давлений газов) 

КМ-22

100 

1,5 

М20×1,5 или G½

 нержавеющая сталь 

Напоромер (низких давлений газов) 

 

Таблица перевода единиц измерения давления па мпа бар атм мм 

 

Па

кПа

МПа

кгc/cм2

бар

 физ. атм 

 мм.вод.ст. 

мм.рт.ст.

psi

1 Па

1

10-3

10-6

1,02*10-5

10-5

9,87*10-6

0,10

7,5*10-3

1,45*10-4

1 кПа

103

1

10-3

1,02*10-2

10-2

9,87*10-3

101,97

7,50

0,14

1 МПа

106

103

1

10,197

10

9,87

101971,6

7500,62

145,04

1 кгс/см2

98066,5

98,07

0,098

1

0,98

0,97

104

735,56

14,22

1 бар

105

100

0,1

1,0197

1

0,99

10197,2

750,06

14,50

1 физ.атм.

1,01

1,01

0,10

1,03

1,01

1

1,03

760

14,69

 1 мм.вод.ст. 

9,81

 9,81*10-3 

 9,81*10-6 

10-4

9,81*10-5

9,68*10-5

1

 7,36*10-2 

 1,42*10-3 

1 мм.рт.ст.

133,32

0,13

1,33*10-4

 1,36*10-3 

 1,33*10-3 

 1,32*10-3 

13,59

1

1,93*10-3

1 psi

 6894,76 

6,89

6,89*10-3

7,03*10-2

6,89*10-2

6,80*10-2

703,07

51,71

1

 

Жидкостные манометры и дифманометры, принцип действия, применение

Жидкостные (трубные) манометры функционируют по принципу сообщающихся сосудов – за счет уравновешивания фиксируемого давления весом жидкости-наполнителя: столб жидкости сдвигается на высоту, которая пропорциональна приложенной нагрузке. Измерения на основе гидростатического метода привлекают сочетанием простоты, надежности, экономичности и высокой точности. Манометр с жидкостью внутри оптимально подходит для измерения перепадов давления в пределах 7 кПа (в специальных вариантах исполнения – до 500 кПа).

Виды и типы приборов

Для лабораторных измерений или промышленного применения используются различные варианты манометров с трубной конструкцией. Наиболее востребованы такие виды приборов:

  • U-образные. Основа конструкции – сообщающиеся сосуды, в которых определение давления осуществляется по одному или сразу нескольким уровням жидкости. Одна часть трубки соединяется с трубопроводной системой для проведения измерения. В то же время другой конец может быть герметически запаян или иметь свободное сообщение с атмосферой.
  • Чашечные. Однотрубный жидкостный манометр во многом напоминает конструкцию классических U-образных приборов, но вместо второй трубки здесь применяется широкий резервуар, площадь которого в 500-700 раз больше площади сечения основной трубки.
  • Кольцевые. В устройствах данного типа столб жидкости заключен в кольцевом канале. При изменении давления происходит перемещение центра тяжести, что в свою очередь приводит к перемещению стрелки указателя. Таким образом, прибор для измерения давления фиксирует угол наклона оси кольцевого канала. Эти манометры привлекают высокой точностью результатов, которые не зависят от плотности жидкости и газовой среды на ней. В то же время сфера применения таких изделий ограничивается их высокой стоимостью и сложностью обслуживания.
  • Жидкостно-поршневые. Измеряемое давление вытесняет сторонний шток и уравновешивает его положение калиброванными грузами. Подобрав оптимальные параметры массы штока с грузами, удается обеспечить его выталкивание на величину, пропорциональную к измеряемому давлению, а, следовательно, удобную для контроля.

Применение жидкостного манометра

Простота и надежность измерений на основе гидростатического метода объясняют широкое применение прибора с жидкостным наполнителем. Такие манометры незаменимы при проведении лабораторных исследований или решении различных технических задач. В частности, приборы используются для таких типов измерений:

  • Небольшие избыточные давления.
  • Разность давлений.
  • Атмосферное давление.
  • Разрежение.

Важное направление применения трубных манометров с жидким наполнителем – поверка контрольно-измерительных приборов: тягомеров, напоромеров, вакуумметров барометров, дифманометров и некоторых типов манометров.

Манометр жидкостный: принцип действия

Самый распространенный вариант конструкции приборов – U-образная трубка. Принцип действия манометра показан на рисунке:

Схема U-образного жидкостного манометра

Один конец трубки имеет сообщение с атмосферой – на него воздействует атмосферное давление Pатм. Другой конец трубки с помощью подводящих устройств подключается к целевому трубопроводу – на него воздействует давление измеряемой среды Рабс. Если показатель Рабс выше Pатм, то жидкость вытесняется в трубку, сообщающуюся с атмосферой.

Инструкция по расчету

Разница высоты между уровнями жидкости рассчитывается по формуле:

h = (Рабс – Ратм)/((rж – rатм )g)
где:
Рабс – абсолютное измеряемое давление.
Ратм – атмосферное давление.
rж – плотность рабочей жидкости.
rатм – плотность окружающей атмосферы.
g – ускорение свободного падения (9,8 м/с2)
Показатель высоты рабочей жидкости H складывается из 2-ух составляющих:
1. h2 – понижение столба по сравнению с исходным значением.
2. h3 – повышение столба в другой части трубки в сравнении с исходным уровнем.
Показатель rатм в расчетах часто не учитывают, поскольку rж >> rатм. Таким образом, зависимость можно представить как:
h = Ризб/(rж g)
где:
Ризб – избыточное давление измеряемой среды.
На основе приведенной формулы, Ризб = hrж g.

Если необходимо измерить давление разряженных газов, применяются измерительные приборы, в которых один из концов герметически запаян, а к другому с помощью подводящих устройств подключают вакуумметрическое давление. Конструкция показана на схеме:

Схема жидкостного вакуумметра абсолютного давления

Для таких приборов применяется формула:
h = (Ратм – Рабс)/(rж g).

Давление в запаянном торце трубки равно нулю. При наличии в нем воздуха расчеты вакуумметрического избыточного давления выполняются как:
Ратм – Рабс = Ризб – hrж g.

Если воздух в запаянном конце откачан, и давление противодействия Ратм = 0, то:
Рабс= hrж g.

Конструкции, в которых воздух в запаянном конце откачивается и перед заполнением вакууммируется, подходят для применения в качестве барометров. Фиксация разницы высоты столба в запаянной части позволяет произвести точные расчеты барометрического давления.

Преимущества и недостатки

Жидкостные манометры имеют как сильные, так и слабые стороны. При их использовании удается оптимизировать капитальные и эксплуатационные издержки на контрольно-измерительные мероприятия. В то же время следует помнить о возможных рисках и уязвимых местах таких конструкций.

Среди ключевых преимуществ измерительных приборов с жидкостным наполнением следует отметить:

  • Высокая точность измерений. Приборы с низким уровнем погрешности могут использоваться в качестве образцовых для поверки различного контрольно-измерительного оборудования.
  • Простота использования. Инструкция по использованию прибора является предельно простой и не содержит каких-либо сложных или специфических действий.
  • Невысокая стоимость. Цена жидкостных манометров значительно ниже по сравнению с другими типами оборудования.
  • Быстрый монтаж. Подключение к целевым трубопроводам производится с помощью подводящих устройств. Осуществление монтажа/демонтажа не требует специального оборудования.
При использовании манометрических устройств с жидкостным наполнением следует учитывать и некоторые слабые стороны таких конструкций:
  • Резкий скачок давления может привести к выбросу рабочей жидкости.
  • Возможность автоматической фиксации и передачи результатов измерений не предусмотрена.
  • Внутреннее устройство жидкостных манометров определяет их повышенную хрупкость
  • Приборы характеризуются достаточно узким диапазоном измерений.
  • Корректность измерений может быть нарушена некачественной очисткой внутренних поверхностей трубок.

Инструкция для жидкостного манометра

Для гидростатических измерений в манометрах могут использоваться различные рабочие жидкости: дистиллированная вода, ртуть, этиловый спирт, жидкость Туле и другие наполнители. При их использовании важно помнить о возможных рисках. В частности, вода приводит к коррозии железосодержащих сплавов, ртуть несет угрозу здоровью человека, а ацетилен и некоторые другие виды наполнителей являются психотропными веществами.

В чем разница манометр вакуумметр и мановакуумметр

Приборы измерения давления газов и жидкостей

Манометры используются на всех промышленных и производственных объектах, где необходимо знать и контролировать уровень давления газов или жидкостей. По назначению, эти приборы могут быть общетехническими, специальными или эталонными. По конструкционным особенностям выделяют жидкостные, поршневые, деформационные устройства.

Объектом измерения и контроля может выступать как избыточное давление, так и разряжённая среда газа. Такие метрологические устройства, как манометры, вакуумметры и мановакуумметры отличаются, в первую очередь, установленными пределами измерений. Рассмотрим более подробно технические особенности этих приборов.

Особенности использования и тех. характеристики манометров

Манометры применяют для контроля избыточного давления. В основе его работы лежит возможность уравновешивания давления при помощи силы деформации пружины, один конец которой закреплён, а второй связан с механизмом, передающие колебания чувствительного элемента движению стрелки. Диапазон измерения давления для различных манометров может колебаться от 0 до 100 МПа. Эти метрологические устройства могут иметь различный класс точности. Для рабочих приборов уровень допустимых погрешностей обозначается цифрами  от 0,15 до 4. При этом более высокой точности соответствует меньшее число.

Вакуумметры – это те же манометры, но предназначенные для измерения разряжённой среды. В зависимости от принципа действия существуют такие типы устройств:

  • классические;
  • ёмкостные;
  • терморезисторные;
  • термопарные;
  • ионизационные.

Диапазон возможных измерений зависит от типа прибора. Так, например, классические вакуумметры определяют давление от 10 до 100000 Па, ёмкостные от 1 до 1000 Па, а компрессионные от 0,001 Па.

Мановакууметры способны определять как избыточное, так и отрицательное давление. Большинство приборов работает в диапазоне от -0,1 до 2,4 МПа. На устройстве имеется измерительная шкала с положительными и отрицательными значениями.

Использование специальных манометров для измерения давления газов

Для определения давления таких газов, как ацетилен, пропан, кислород используются специальные манометры, исключающих возможность возгорания или взрыва в процессе эксплуатации. Так, например, кислородные манометры не содержат никакой масляной смазки. Их циферблат окрашивается в голубой цвет и ставиться обозначение кислорода. Приборы для измерения давления ацетилена, не содержат медных деталей, так как медь может вступить во взрывоопасную реакцию с этим газом. Корпус такого изделия окрашивается в белый цвет.

Особые требования предъявляются к метрологическим устройствам, которые контактируют и с другими агрессивными средами. Так, манометры, которые измеряют давление водорода, окрашиваются в зелёный цвет. Приборы, работающие с аммиаком в жёлтый. Для других взрывоопасных газов предусмотрена маркировка красного цвета.

Все виды манометров реалезуемые нашей компанией

Как подобрать манометр по рабочему давлению

Обязательным видом измерительных приборов для комплектации сетей отопления, водоснабжения, газоснабжения и других инженерных систем является манометр. Он позволяет измерять избыточное давление рабочей среды в трубопроводе, внутри сосудов и оборудования. Помимо этого, применив специальные формулы, можно получить значения расхода, скорости движения среды и других параметров. Точные измерения могут быть обеспечены только в том случае, если прибор соответствует условиям эксплуатации и технологическим требованиям. Поэтому важно иметь представление о том, как подобрать манометр для установки в систему.

Как правильно подобрать манометр

Измерители давления подбираются для установки в конкретную систему с учетом целого комплекса параметров. Ключевым параметром, по которому выбирается манометр, является диапазон измерений. Рабочий ряд шкал современных моделей является очень широким.

Правильно выбрать манометр по шкале довольно просто. Для этого необходимо подбирать шкалу таким образом, чтобы рабочее давление системы находилось в пределах от 1/3 до 2/3 шкалы. Например, если рабочее давление трубопровода составляет 10 атмосфер, то для его измерения необходимо приобретать манометр со шкалой 0-25 атмосфер (для этой шкалы 1/3 будет равна 8,3 атмосферы, а 2/3 — 16,6 атмосфер). Если показатель рабочего давления будет слишком низким (менее 1/3 шкалы), то значительно возрастает погрешность измерений. При высоком рабочем давлении (свыше 2/3 шкалы) прибор будет работать с повышенными нагрузками, что снизит срок его службы.

Большинство манометров поставляется в круглом корпусе. Подбирать прибор нужно исходя из условий установки, чтобы к нему был обеспечен удобный доступ и он не соприкасался с другим оборудованием или элементами конструкций. Стандартные манометры могут иметь диаметр от 40 до 250 мм. Также в зависимости от условий установки выбирают приборы по расположению штуцера. Оно может быть радиальным и аксиальным (торцевым). В первом случае штуцер для подключения прибора располагается в его нижней части, во втором случае — сзади.

В зависимости от условий эксплуатации может потребоваться установка специализированного манометра. Такие приборы рассчитаны на работу в жестких условиях — под воздействием агрессивной рабочей среды, вибрации, низких (ниже -40 °C) и высоких (свыше +100 °C) температур.

При выборе манометра также учитывается размерность присоединительной резьбы, которую производитель обязательно указывает на корпусе. При этом нужно учитывать, что на приборах отечественного производства обычно применяется метрическая резьба, а на импортных — трубная резьба.

Также подбирать манометр нужно с учетом межповерочного интервала. Удобнее всего эксплуатировать приборы с максимальным интервалом поверки.

Как правильно использовать манометр для измерения давления в трубопроводе

Манометры — незаменимые приборы, с помощью которых осуществляется измерение давления рабочей среды в трубопроводах, котлах, насосах, другом оборудовании и в аппаратах. Эти устройства отличаются простым принципом снятия показаний. Чтобы разобраться с тем, как измерить давление манометром, не требуется какой-либо специальной подготовки. Справиться с этим сможет практически любой человек, прошедший инструктаж. Однако есть определенные моменты, которые необходимо учитывать.

Виды манометров

Сегодня существует большое количество разновидностей манометров. Они имеют различную конструкцию и подходят для разных целей. Для измерения давления рабочей среды в трубопроводах и различном оборудовании чаще всего применяют следующие виды приборов:

  • пружинные — величина давления уравновешивается за счет силы, возникающей при деформации пружины. Приборы отличаются простотой конструкции, благодаря этому при необходимости не составляет сложности разобрать манометр для проведения ремонта;

  • мембранные — основным функциональным элементом является мембрана, которая деформируется под действием напора рабочей среды, за счет чего возникает уравновешивающая сила упругости;

  • поршневые — для уравновешивания давления используется поршень с грузом определенной величины;

  • электроконтактные — эти приборы используются в системах автоматического контроля и сигнализации.

Как правильно измерять давление манометром

Мерить давление очень просто, если понимать общий принцип действия, характерный для всех механических манометров. Прибор имеет уравновешивающий элемент (пружину, поршень, мембрану и т.д.), который воспринимает нагрузку от напора рабочей среды и деформируется либо перемещается под ее воздействием. Уравновешивающий элемент размещается внутри корпуса прибора и имеет механическую связь со стрелкой. Таким образом, перемещение стрелки измерителя зависит от величины действующего давления. Эта величина отображается стрелкой на шкале прибора.

Чтобы получить показания, достаточно просто смотреть на шкалу манометра. Стрелка на ней указывает на шкале величину давления, которое действует в системе в настоящий момент. При изменении измеряемой величины стрелка одновременно перемещается по шкале на соответствующее значение. Это делает измерение максимально удобным и доступным практически для любого человека.

Однако просто смотреть на прибор бывает недостаточно. Чтобы правильно пользоваться манометром, необходимо также иметь представление о величинах измерения, которые указываются на шкале. Чаще всего используются следующие величины:

  • техническая атмосфера. Величина атмосферного давления, действующего на уровне Мирового океана. Одна атмосфера соответствует 1 кг/см2;

  • величина водяного столба. Соответствует гидростатическому давлению столба воды нормальной плотности высотой 1 мм температурой 4 °C, которое действует на плоское основание. Эта единица часто применяется при осуществлении гидравлических расчетов;

  • бар — техническая величина, которая примерно соответствует 1 атмосфере и 10 м водяного столба. Часто используется в характеристиках насосов, арматурных устройств, котлов, другого оборудования;

  • паскаль. Единица измерения, принятая в системе СИ, равная 1 Н/м2. Величина, равная 0,1 МПа, примерно соответствует 1 атмосфере или 1 бар.

Класс точности

При измерении нужно учитывать также класс точности прибора, который указывается в его паспорте и на шкале (условно обозначается литерами KL или CL). Это процентное отношение допустимой погрешности к диапазону измерений. Стандартном предусматривается следующий ряд классов точности: 4; 2,5; 1,5; 1; 0,6; 0,4; 0,25; 0,15. Более высокий класс точности говорит о том, что прибор менее точный. Низкое его значение свидетельствует о высокой точности.

Величину допустимой погрешности можно рассчитать путем умножения класса точности на диапазон измерений с последующим делением полученного произведения на 100. Так, для манометра 4 класса точности с диапазоном измерения 2,5 МПа величина погрешности составит 0,1 МПа.


Манометры для измерения давления в шинах

Манометры для измерения давления в автопокрышках различаются по принципу действия. Существует два основных типа, которые имеют свои достоинства и недостатки:

Это старшее поколение, постепенно замещаемое современными электронными новинками. Их работа основана на воздействии воздуха на согласованную систему штоков, шестеренок и пружин. Показания отображаются на специальной шкале. К этой группе приборов относятся стрелочные и реечные манометры.

Стрелочные – шестереночного типа со шкалой и стрелкой. Некоторые модели снабжены клапаном для спуска избыточного количества воздуха, что повышает их удобство. При выборе стрелочного манометра нужно обращать внимание на класс точности прибора, указанный в паспорте. Чем он выше, тем меньше погрешность при измерении.

Основными достоинствами устройств этого типа являются:

Электронный манометр для измерения давления в шинах отличается от механических аналогов большей точностью выдаваемых показаний. Эти приборы оснащены жидкокристаллическим дисплеем, с которого легко считываются результаты измерений. Многие современные аппараты дополнительно имеют возможность производить замер температуры колеса.

Из преимуществ этого класса приборов можно выделить следующие:

Цифровые манометры для измерения давления в шинах имеют и ряд недостатков:

Альтернативой традиционным манометрам являются современные устройства и системы контроля давления в автомобильных шинах. К ним относятся:

Электронные датчики с радиопередачей. Устанавливаются на ниппель, выводят показания на бортовой компьютер при помощи радиосигнала. Очень удобны в использовании, обладают высокой точностью, контролируют температуру колес и соотносят с ней показатели давления, подают визуальные и звуковые сигналы. Однако, дороги и подвержены рискам кражи и вандализма

Колпачки-индикаторы. Устанавливаются на ниппели, информацию выдают визуально при помощи разноцветных выдвигающихся дисков. Удобны, точны, но ничем не защищены от вандалов

Дополнительное программное расширение для системы ABS. Контролирует зависимость радиуса колес от показателей давления воздуха в них. Информация о расхождении параметров с допустимыми значениями выводится на дисплей, подается звуковой сигнал

11.6: Манометрическое давление, абсолютное давление и измерение давления

Если вы хромаете на заправочную станцию ​​с почти спущенной шиной, вы заметите, что манометр на авиалинии показывает почти нулевое значение, когда вы начинаете заполнять ее. Фактически, если бы в вашей шине была зияющая дыра, датчик показывал бы ноль, даже если в шине существует атмосферное давление. Почему шкала показывает ноль? Здесь нет никакой загадки. Манометры просто предназначены для считывания нуля при атмосферном давлении и положительного значения, когда давление выше атмосферного.

Точно так же атмосферное давление увеличивает кровяное давление во всех частях кровеносной системы. (Как отмечалось в Принципе Паскаля, полное давление в жидкости — это сумма давлений из разных источников — в данном случае сердца и атмосферы.) Но атмосферное давление не оказывает чистого влияния на кровоток, поскольку оно добавляет к выходному давлению. сердца и возвращение в него тоже. Важно то, насколько кровяное давление на больше атмосферного. Таким образом, измерения артериального давления, как и давления в шинах, производятся относительно атмосферного давления.

Короче говоря, манометры очень часто игнорируют атмосферное давление, то есть считывают ноль при атмосферном давлении. Поэтому мы определяем манометрическое давление как давление относительно атмосферного давления. Избыточное давление положительно для давлений выше атмосферного и отрицательно для давлений ниже него.

Определение: избыточное давление

Манометрическое давление — это давление относительно атмосферного давления. Избыточное давление положительно для давлений выше атмосферного и отрицательно для давлений ниже него.

Фактически, атмосферное давление увеличивает давление в любой жидкости, не заключенной в жесткий контейнер. Это происходит из-за принципа Паскаля. Таким образом, полное давление или абсолютное давление складывается из манометрического и атмосферного давления:

\ [P_ {abs} = P_g + P_ {atm} \]

где \ (P_ {abs} \) — абсолютное давление, \ (P_g \) — избыточное давление, а \ (P_ {atm} \) — атмосферное давление. Например, если ваш манометр показывает 34 фунта на квадратный дюйм (фунта на квадратный дюйм), то абсолютное давление составляет 34 фунта на квадратный дюйм плюс 14.7 фунтов на квадратный дюйм (\ (P_ {atm} \) в фунтах на квадратный дюйм) или 48,7 фунтов на квадратный дюйм (эквивалент 336 кПа).

Определение: Абсолютное давление

Абсолютное давление — это сумма манометрического и атмосферного давления.

По причинам, которые мы рассмотрим позже, в большинстве случаев абсолютное давление в жидкости не может быть отрицательным. Жидкости выталкивают, а не вытягивают, поэтому наименьшее абсолютное давление равно нулю. (Отрицательное абсолютное давление — это притяжение.) Таким образом, минимально возможное манометрическое давление равно \ (P_g = -P_ {atm} \) (это делает \ (P_ {abs} |) нулевым).

Теоретически нет предела тому, насколько большим может быть манометрическое давление.

Существует множество устройств для измерения давления, от шинных манометров до манжет для измерения кровяного давления. Принцип Паскаля имеет большое значение в этих устройствах. Непрерывная передача давления через жидкость обеспечивает точное дистанционное измерение давления. Дистанционное зондирование часто удобнее, чем установка измерительного устройства в систему, например в артерию человека.

На рисунке показан один из многих типов механических манометров, используемых сегодня.Во всех механических манометрах давление представляет собой силу, которая преобразуется (или преобразуется) в некоторый тип считывания.

Рисунок \ (\ PageIndex {1} \): В этом анероидном манометре используются гибкие сильфоны, соединенные с механическим индикатором для измерения давления.

Целый класс датчиков использует свойство, согласно которому давление, обусловленное весом жидкости, определяется выражением \ (P = h \ rho g \).

Рассмотрим, например, U-образную трубку, показанную на рисунке. Эта простая трубка называется манометром .На рисунке (а) обе стороны трубы открыты для атмосферы. Таким образом, атмосферное давление оказывает одинаковое давление с каждой стороны, поэтому его эффект нивелируется. Если жидкость глубже с одной стороны, давление на более глубокой стороне больше, и жидкость течет от этой стороны до тех пор, пока глубины не сравняются.

Давайте посмотрим, как манометр используется для измерения давления. Предположим, что одна сторона U-образной трубки подключена к некоторому источнику давления \ (P_ {abs} \), например, к игрушечному шарику на рисунке (b) или к банке с арахисом в вакуумной упаковке, показанной на рисунке (c).Давление передается на манометр в неизменном виде, и уровни жидкости больше не равны. На рисунке (b), \ (P_ {abs} \) больше атмосферного давления, а на рисунке (c), \ (P_ {abs} \) меньше атмосферного давления. В обоих случаях \ (P_ {abs} \) отличается от атмосферного давления на величину \ (h \ rho g \), где \ (\ rho \) — плотность жидкости в манометре. На рисунке (b) \ (P_ {abs} \) может поддерживать столб жидкости высотой \ (h \), и поэтому он должен оказывать давление \ (h \ rho g \), превышающее атмосферное давление (манометр давление \ (P_g \) положительное).На рисунке (c) атмосферное давление может поддерживать столб жидкости высотой \ (h \), и поэтому \ (P_ {abs} \) меньше атмосферного давления на величину \ (h \ rho g \) ( манометрическое давление \ (P_g \) отрицательное). Манометр с одной стороной, открытой в атмосферу, является идеальным устройством для измерения манометрического давления. Манометрическое давление равно \ (P_g = h \ rho g \) и определяется путем измерения \ (h \).

Рисунок \ (\ PageIndex {2} \): Манометр с открытой трубкой имеет одну сторону, открытую в атмосферу. (a) Глубина жидкости должна быть одинаковой с обеих сторон, иначе давление, оказываемое каждой стороной на дно, будет неравным, и поток будет идти с более глубокой стороны.(b) Положительное манометрическое давление \ (P_g = h \ rho g \), передаваемое на одну сторону манометра, может поддерживать столб жидкости высотой \ (h \). (c) Аналогично, атмосферное давление больше отрицательного манометрического давления \ (P_g \) на величину \ (h \ rho g \). Жесткость банки предотвращает передачу атмосферного давления на арахис.

Ртутные манометры часто используются для измерения артериального давления. Надувная манжета надевается на плечо, как показано на рисунке. Сжимая грушу, человек, производящий измерение, оказывает давление, которое в неизменном виде передается как на главную артерию руки, так и на манометр.Когда это приложенное давление превышает кровяное давление, кровоток ниже манжеты прекращается. Затем человек, производящий измерение, медленно снижает приложенное давление и ожидает возобновления кровотока. Артериальное давление пульсирует из-за перекачивающего действия сердца, достигая максимума, называемого систолическим давлением, и минимума, называемого диастолическим давлением, с каждым ударом сердца. Систолическое давление измеряется путем учета значения \ (h \), когда кровоток впервые начинается при понижении давления в манжете. Диастолическое давление измеряется по h, когда кровь течет без перерыва.Типичное кровяное давление молодого взрослого человека поднимает ртуть до высоты 120 мм при систолическом и 80 мм при диастолическом. Обычно это 120 на 80 или 120/80. Первое давление соответствует максимальной мощности сердца; второй — из-за эластичности артерий в поддержании давления между ударами. Плотность ртутной жидкости в манометре в 13,6 раз больше, чем у воды, поэтому высота жидкости будет 1 / 13,6 от высоты водяного манометра. Эта уменьшенная высота может затруднить измерения, поэтому ртутные манометры используются для измерения более высоких давлений, например артериального давления.Плотность ртути такова, что \ (1 \, мм \, Hg = 133 \, Па \).

Определение: систолическое давление

Систолическое давление — это максимальное артериальное давление.

Определение: диастолическое давление

Диастолическое давление — это минимальное кровяное давление.

Рисунок \ (\ PageIndex {3} \): При обычных измерениях артериального давления надувная манжета помещается на плечо на том же уровне, что и сердце. Кровоток определяется сразу под манжетой, и соответствующие значения давления передаются на манометр, заполненный ртутью.(Источник: фотография армии США, сделанная специалистом Мика Э. Клэр \ 4TH BCT)

Пример \ (\ PageIndex {1} \): Расчет высоты мешка для внутривенных вливаний: артериальное давление и внутривенное введение

Настои

Внутривенные инфузии обычно производятся с помощью силы тяжести. Предполагая, что плотность вводимой жидкости составляет 1,00 г / мл, на какой высоте следует поместить мешок для внутривенного вливания над точкой входа, чтобы жидкость просто попадала в вену, если кровяное давление в вене на 18 мм рт. Ст. Выше атмосферного. ? Предположим, что мешок для внутривенных вливаний складной.

Стратегия для (а)

Чтобы жидкость просто попала в вену, ее давление на входе должно превышать кровяное давление в вене (на 18 мм рт. Ст. Выше атмосферного давления). Поэтому нам нужно найти высоту жидкости, соответствующую этому манометрическому давлению.

Решение

Сначала нам нужно преобразовать давление в единицы СИ. Поскольку \ (1.0 \, мм \, Hg = 133 \, Па \),

\ [\ begin {align *} P = 18 \, мм \, Hg \ times \ dfrac {133 \, Pa} {1.0 \, mm \, Hg} = 2400 \, Pa \\ [5pt] & = 0 .24 \, Па \ end {align *} \]

Обсуждение

Мешок для внутривенных вливаний должен быть помещен на 0,24 м выше точки входа в руку, чтобы жидкость просто попала в руку. Как правило, мешки для внутривенных вливаний размещаются выше. Вы могли заметить, что мешки, используемые для сбора крови, размещаются под донором, чтобы кровь могла легко течь от руки к сумке, что является противоположным направлением потока, чем требуется в представленном здесь примере.

Барометр — прибор для измерения атмосферного давления.Ртутный барометр показан на рисунке. Это устройство измеряет атмосферное давление, а не манометрическое давление, потому что над ртутью в трубке создается почти чистый вакуум. Высота ртути такова, что \ (h \ rho g = P_ {atm} \). Когда атмосферное давление меняется, ртуть поднимается или падает, давая важные подсказки синоптикам. Барометр также можно использовать как высотомер, так как среднее атмосферное давление зависит от высоты. Ртутные барометры и манометры настолько распространены, что единицы измерения атмосферного и кровяного давления часто используются в миллиметрах ртутного столба.В таблице приведены коэффициенты пересчета для некоторых наиболее часто используемых единиц давления.

Рисунок \ (\ PageIndex {4} \): ртутный барометр измеряет атмосферное давление. Давление, обусловленное весом ртути, \ (h \ rho g \), равно атмосферному давлению. Атмосфера способна вытеснить ртуть в трубке на высоту \ (h \), потому что давление над ртутью равно нулю.
Преобразование в Н / м 2 (Па) Конверсия из банкомата
\ (1.2 \) \ (1.0 атм = 1013 миллибар \)

Коэффициенты преобразования для различных единиц давления

Сводка

  • Манометрическое давление — это давление относительно атмосферного давления.
  • Абсолютное давление — это сумма манометрического и атмосферного давления.
  • Анероидный манометр измеряет давление с помощью сильфона и пружины, соединенного со стрелкой калиброванной шкалы.
  • Манометры с открытой трубкой имеют U-образную форму трубки, один конец которой всегда открыт.Он используется для измерения давления.
  • Ртутный барометр — это прибор, измеряющий атмосферное давление.

Глоссарий

абсолютное давление
сумма манометрического давления и атмосферного давления
диастолическое давление
минимальное артериальное давление в артерии
избыточное давление
давление относительно атмосферного
систолическое давление
максимальное артериальное давление в артерии

Авторы и авторство

Пол Питер Урон (почетный профессор Калифорнийского государственного университета, Сакраменто) и Роджер Хинрикс (Государственный университет Нью-Йорка, колледж в Освего) с авторами: Ким Диркс (Университет Окленда) и Манджула Шарма (Университет Сиднея).Эта работа лицензирована OpenStax University Physics в соответствии с лицензией Creative Commons Attribution License (4.0).

.

Абсолютное давление в сравнении с избыточным давлением

Обновлено 14 сентября 2017 г.

Давление — это мера силы, приложенной перпендикулярно к площади поверхности. Давление, оказываемое жидкостью или газом, является результатом движения отдельных молекул и их столкновений со стенками контейнера или с другими молекулами в системе. Общие единицы измерения давления — паскаль (Па) и фунты на квадратный дюйм (фунты на квадратный дюйм). Наиболее распространенными системами измерения давления являются абсолютное давление и манометрическое давление.Эта статья поможет вам узнать разницу между ними.

Определения

Absolute pressure diagram Абсолютное и манометрическое давление

Абсолютное давление — это мера давления относительно идеального вакуума. Идеальный вакуум определяется как абсолютный ноль на шкале абсолютного давления. В этом масштабе в любой точке системы отсутствует движение молекул, и на поверхность контейнера не действует давление. Следовательно, давление не может быть ниже абсолютного нуля; нет отрицательного абсолютного давления.Абсолютное давление означает, что измеренное давление будет одинаковым независимо от окружающих атмосферных условий.

Единицы измерения абсолютного давления иногда обозначаются буквой «а»; например, «кПа» для абсолютного давления в килопаскалах или «psia» для абсолютного давления в фунтах на квадратный дюйм.

Pressure gauge Манометр

Манометрическое давление — это показатель давления относительно атмосферного давления окружающей среды. Это разница между абсолютным давлением и атмосферным давлением.Следовательно, нулевое значение на шкале избыточного давления означает, что абсолютное давление в системе равно абсолютному давлению окружающей атмосферы. Манометр — это инструмент, используемый для измерения давления. Манометру всегда нужна контрольная точка, поскольку показания производятся с отклонением манометра, вызванным разницей в давлении. Обычно манометр вентилируется, что означает, что он использует давление воздуха в качестве эталона. Вот почему это давление называется манометрическим.

Поскольку манометрическое давление измеряется относительно давления окружающей среды, изменения погоды приводят к различным показаниям манометрического давления.При более низком атмосферном давлении ваши шины будут иметь более высокое манометрическое давление, тогда как на самом деле они будут иметь такое же абсолютное давление. Положительное избыточное давление относится к измеренному давлению, превышающему давление окружающей среды. Отрицательное манометрическое давление относится к давлению ниже атмосферного и иногда называется «вакуумным давлением».

В единицах избыточного давления иногда используется буква «g» в качестве суффикса, например «кПа изб.» Или «фунт / кв. Дюйм изб.». Некоторые манометры опломбированы, поэтому эталонное давление может отличаться от давления окружающего воздуха.Эталонным давлением может быть даже стандартное атмосферное давление (1 атмосфера), которое представляет собой давление на уровне моря при стандартной температуре. Герметичные манометры позволяют измерять давление независимо от текущего фактического состояния окружающей среды и могут использоваться для измерения абсолютного давления.

Абсолютное давление в сравнении с манометрическим давлением

В чем разница между манометрическим и абсолютным давлением? Абсолютное давление не может быть ниже абсолютного нуля, поскольку это его нулевая точка.С другой стороны, манометрическое давление использует атмосферное давление в качестве нулевой точки. Даже при переменном атмосферном давлении абсолютное давление всегда определено. Между тем, из-за изменяющегося атмосферного давления измерение манометрического давления неточно. Единицы абсолютного давления иногда имеют суффикс «a», тогда как единицы измерения избыточного давления используют суффикс «g».

Сравнительная таблица

Абсолютное давление Манометрическое давление
В качестве нулевой точки используется абсолютный ноль В качестве нулевой точки используется атмосферное давление
Измерение всегда точно Измерение неточно
Буква «а» иногда используется в качестве суффикса для единиц Буква «g» иногда используется в качестве суффикса для единиц
.

Курт Дж. Лескер Компания | Технические примечания по измерению давления


Измерение давления

Единицы измерения

Давление ниже атмосферного измеряется в нескольких единицах, включая: торр (также называемый миллиметрами ртутного столба, мм рт.ст.), миллиторр (мТорр, но также называемый микрон, μ), дюймы ртутного столба («Hg»), миллибар (мбар) и паскаль ( Па). В США обычно используются три единицы измерения: микрон как единица измерения давлений, достигаемых обратными насосами, торр для насосов высокого вакуума и сверхвысокого вакуума и дюймы ртутного столба для насосов грубой очистки.В Европе миллибар является общей единицей измерения давления. В Японии используется паскаль, но часто торр является второстепенным. Большинству авторов научных / технических статей рекомендуется использовать паскаль в единицах СИ, а некоторые и делают.

Единицы производные от:

  • Паскаль — сила в 1 ньютон (1 кг, ускоряющаяся со скоростью 1 м / с / с), действующая на 1 м. 2
  • Миллибар —1000 раз больше силы 1 дина (1 г при ускорении 1 см / сек./ сек) действующее на 1 см 2
  • Торр — 1/760 высоты ртутного барометра при «стандартном» атмосферном давлении
  • Миллиторр или микрон — 1000-я 1 Торр
  • дюймов ртутного столба (вакуум) —1 / 29,92 раза больше высоты ртутного барометра при «стандартном» атмосферном давлении (принимая атмосферное давление за 0 дюймов ртутного столба)
  • дюймов ртутного столба (прогнозы погоды) —1 / 29,92 высоты ртутного барометра при «стандартном» атмосферном давлении (принимая нулевое давление за 0 дюймов ртутного столба)

Диапазоны давления

Не существует «универсального» манометра, способного измерять давление от атмосферного до сверхвысокого (динамический диапазон 10 15 ).По сути, для измерения давления используются три механизма, и выбор одного из них зависит от диапазона давления и остаточных газов в вакууме.

Базовые технологии:

Механические манометры имеют жидкостные или твердые диафрагмы, которые меняют положение под действием всех молекул газа, отскакивающих от них. Эти манометры измеряют абсолютное давление, не зависящее от свойств газа / пара. К сожалению, ниже 10 -5 Торр этот тип датчика неэффективен.

Приборы для измерения характеристик газа измеряют объемные свойства, такие как теплопроводность или вязкость. Они зависят от состава газа и эффективны в ограниченном диапазоне давлений от атмосферного до 10 -4 Торр.

Ионизационные манометры Для измерений в условиях высокого вакуума и сверхвысокого напряжения используется сбор заряда. Молекулы остаточного газа ионизируются электронами, и измеряется результирующий ионный ток. Хотя такие датчики будут ионизировать как пары, так и постоянные газы, их реакция зависит от других параметров, кроме потенциала ионизации, что затрудняет точное измерение общего давления в газовых смесях.Ионизационные манометры охватывают диапазон давлений от 10 -4 Торр до 10 -10 Торр.

Типичное расположение двух датчиков, охватывающих интересующий диапазон от атмосферы до 1 x 10 9 Торр, оставляет плохо закрытую полосу при давлениях, широко используемых при напылении, травлении, CVD и т. Д. К счастью, точные измерения, необходимые для воспроизводимой обработки между 10 -1 и 10 -3 Торр, могут быть выполнены путем добавления третьего датчика — емкостного манометра.

При выборе манометра, помимо диапазона давления, следует учитывать и другие характеристики: скорость откачки манометра; как на него влияют радиация, магнетизм, температура, вибрация и агрессивные газы; и повреждения, вызванные его включением при атмосферном давлении. Эти вопросы обсуждаются ниже в разделе «Как задать параметры в манометре», но их также можно найти в обширных текстах о вакууме, таких как «Руководство пользователя по вакуумной технологии» Джона Ф. О’Хэнлона A.

Вакуумметры

Механические манометры

Давление газа — это сумма всех индивидуальных сил, вызванных каждым атомом или молекулой, сталкивающейся с поверхностью в любой момент. Механические датчики регистрируют эту общую силу, отслеживая движение поверхности против (восстанавливающей) силы, пытаясь удержать поверхность на своем первоначальном месте. Поскольку механические датчики реагируют только на молекулярный импульс, они измеряют давление любого газа или пара.Они могут быть очень точными или неточными в зависимости от того, как регистрируется движение.

Маклеод

Этот манометр, хотя и редко используется, в основном используется в качестве основного калибровочного стандарта для других манометров. Фактически, большой известный объем газа при неизвестном давлении улавливается в стеклянной колбе и сжимается за счет повышения уровня ртути до тех пор, пока газ не окажется в небольшом закрытом капилляре известного объема. Поскольку соотношение между исходным и конечным объемами известно и конечное давление можно измерить, исходное давление рассчитывается по закону Бойля (P1 x V1 = P2 x V2).Манометры МакЛеода особенно полезны в диапазоне от 1 Торр до 10 — 4 Торр, но из-за сжатия не могут использоваться для измерения паров.

Бурдон

Бурдон

Типовые характеристики:

  • Газовая независимая
  • от 1 до 760 торр
  • Точность от 10 до 15%
  • Типичная рабочая температура: от 0 ° C до 50 ° C

Когда закрытая изогнутая трубка овального поперечного сечения из медного сплава подключается к вакууму, атмосферное давление изгибает ее в большей или меньшей степени, в зависимости от внутреннего давления.Механическая сила перемещает стрелку индикатора через зубчатую связь. Манометры Бурдона используются в основном при измерении высокого давления (чаще всего присоединяются к регуляторам на газовых баллонах), но созданы вариации для измерения давления от 0 до 30 дюймов рт. Ст. И используются для сублимационной сушки, «домашних» вакуумных систем, вакуума. пропитка и т. д., где основной проблемой является наличие вакуума, а не его точное измерение.

Пьезо

Типовые характеристики:

  • Газонезависимая
  • 0.От 1 до 1000 торр
  • Точность 1%
  • Типичная рабочая температура: от 0 ° C до 40 ° C

Пьезорезистивные датчики давления обычно состоят из кремниевой пластины, которая обрабатывается на поверхности, которая превращает кристалл в подходящую отклоняющую диафрагму при воздействии нормального напряжения (давления). Толщина кристалла кремния в его минимальном сечении является основным фактором, определяющим диапазон давления манометра от 1500 до 0.1 торр. По мере того как диафрагма отклоняется под давлением, сопротивление пьезорезистивных элементов изменяется по величине, в результате чего сеть моста Уитстона выходит из равновесия. Подача напряжения на этот мост создает выходное напряжение, пропорциональное приложенному давлению. Если элементы имеют одинаковое сопротивление, будет нулевое выходное напряжение без перепада давления на диафрагме.

Емкостные манометры

Манометр

Типовые характеристики:

  • Газовая независимая
  • Показывает четыре (4) декады ниже полной шкалы (F.S.) (т.е. манометр емкости 1000 Торр = от 1000 до 0,1 Торр, манометр емкости 0,1 Торр = 0,1 до 1e -5 Торр)
  • Погрешность от 0,25 до 0,50%
  • Версии для окружающей среды или с подогревом
  • Типичная рабочая температура: от 0 ° C до 40 ° C

Отклонение тонкой металлической диафрагмы, отделяющей известное давление от неизвестного, является мерой разницы давлений между двумя объемами. В емкостном манометре, как следует из названия, отклонение измеряется с помощью электрической емкости между диафрагмой и некоторыми неподвижными электродами.Емкостные манометры — самые точные устройства для измерения перепада или абсолютного давления всех газов (включая пары, которые не конденсируются при рабочей температуре манометра).

Измерительные головки указаны по их максимальному измеренному давлению (от 25 000 торр до 1 x 10 -1 торр), при этом каждая головка имеет динамический диапазон примерно на 10 4 ниже этого. Обычно точность показаний манометра составляет 0,25%, а 0,08% можно получить из высокоточных продуктов.

В то время как манометры имеют заданную рабочую температуру, емкостные манометры можно настроить (перед покупкой) для работы при температурах выше окружающей среды. Эти «нагретые» блоки имеют внутри блока нагреватель, который нагревает диафрагму до заданной температуры (например, 100 ° C). Это помогает поддерживать точность емкостного манометра, а также помогает снизить конденсацию паров на диафрагме (до тех пор, пока внутренняя температурная компенсация устройства не превышает температуру процесса).


Мембранные манометры

Подобно емкостному манометру, в этих манометрах используется отклонение тонкой металлической (или кремниевой) диафрагмы, отделяющей известное давление от неизвестного. Однако в этом типе датчика отклонение определяется тензодатчиком, прикрепленным к диафрагме. Хотя это ограничивает минимальное измеряемое давление до 1 Торр, оно обеспечивает стабильные, воспроизводимые показания прибора при измерении давления до 1200 Торр.

Приборы для измерения состояния газа

Значения теплопроводности или вязкости для каждого конкретного газа различаются и нелинейно зависят от давления.Измерители свойств газа, представленные для типичных газов вакуумной камеры, неточны. Это и множество других источников неотъемлемой погрешности позволяют предположить, что показания манометра приемлемы для регистрации повторяющихся событий давления, но мало пригодны для измерения абсолютного давления.

Термопара

Термопара (T / C)

Типовые характеристики:

  • Газозависимый
  • 1e -3 до 760 Торр или 1e -3 до 1 Торр
  • Обычно пассивный (нужен контроллер)
  • Точность 50% выше 10 Торр, 15% ниже 10 Торр
  • Постоянный ток, переменная температура
  • Типичная рабочая температура: от 0 ° C до 100 ° C

Нить накала в датчике термопары нагревается до определенной температуры с помощью постоянного тока.Когда молекулы взаимодействуют с нитью, тепло передается с заданной скоростью (в зависимости от теплопроводности молекул), что вызывает разницу температур. Эта переменная температура измеряется и преобразуется в выходное напряжение, за которым следует давление. Чем выше давление (больше молекул), тем больше перепад температур. Из-за конструкции датчика и размещения нити накала датчики с термопарой обычно не используются для измерений выше 10 Торр, поскольку множество молекул имеет тенденцию сливаться на определенной части нити, что приводит к неточности.

Со временем молекулы прилипают к нити, что приводит к неточным измерениям. В зависимости от того, чему подвергался манометр, нить накала можно очистить, налив небольшое количество растворителя на концевую часть фланца, установив контакт с нитью (при выключенном датчике). Это должно быть сделано после анализа SDS растворителя и молекул, используемых в процессе. Оказавшись внутри, устройство можно осторожно покрутить (не как марака), чтобы растворитель вступил в контакт со всей нитью, в надежде растворить некоторые, если не все, застрявшие молекулы.После этого растворитель будет должным образом обработан, и все остаточные количества испарится. Это можно ускорить, включив устройство, которое будет обеспечивать тепло. Эта очистка не гарантирована, так как некоторые молекулы могли вызвать коррозию нити. В этом случае предлагается заменить датчик.


Пирани

Пирани

Типовые характеристики:

  • Газозависимый
  • 1e -4 до 1000 Торр
  • Точность 50% выше 10 Торр, точность 10% ниже 10 Торр
  • Постоянная температура, переменный ток
  • Типичная рабочая температура: от 0 ° C до 40 ° C

В датчике Пирани две нити, часто платиновые, используются в качестве двух плеч моста Уитстона.Эталонная нить накала погружается в газ с фиксированным давлением, а измерительная нить подвергается воздействию системного газа. Обе нити накала нагреваются током через мост, но, в отличие от большинства Т / К, датчик Пирани использует не постоянное напряжение или мощность, а постоянную температуру нити. Молекулы газа, ударяясь о погруженный элемент, отводят энергию, которая обнаруживается и заменяется цепью обратной связи к источнику питания. Датчик Пирани будет измерять в том же диапазоне, что и датчик термопары, но увеличен до 1e -4 Торр.Однако этот датчик имеет ту же проблему, что и датчик термопары выше 10 Торр.

Со временем молекулы будут прилипать к нити, что приведет к неточным измерениям. В зависимости от того, чему подвергался манометр, нить накала можно очистить, налив небольшое количество растворителя на концевую часть фланца, установив контакт с нитью (при выключенном датчике). Это должно быть сделано после анализа SDS растворителя и молекул, используемых в процессе. Оказавшись внутри, устройство можно осторожно покрутить (не как марака), чтобы растворитель вступил в контакт со всей нитью, в надежде растворить некоторые, если не все, застрявшие молекулы.После этого растворитель будет должным образом обработан, и все остаточные количества испарится. Это можно ускорить, включив устройство, которое будет обеспечивать тепло. Эта очистка не гарантирована, так как некоторые молекулы могли вызвать коррозию нити. В этом случае предлагается заменить датчик.

Конвекция

Пирани с улучшенной конвекцией

Типовые характеристики:

  • Газозависимый
  • 1e -4 до 1000 Торр
  • Точность 5% выше 10 Торр, точность 10% ниже 10 Торр
  • Постоянная температура, переменная температура
  • Типичная рабочая температура: от 0 ° C до 40 ° C

Пирани с улучшенной конвекцией очень похож на датчик Пирани в том, что к нити накала подается ток для поддержания постоянной температуры.Когда молекулы взаимодействуют с нитью, тепло от нити отводится, и для поддержания постоянной температуры требуется больше тока. Этот перепад тока преобразуется в напряжение, а затем в давление. Однако такая конструкция датчика позволяет равномерно перемещаться вокруг нити за счет конвекции (правильного воздушного потока). Это сводит к минимуму карманы молекул, прилипающих к определенной части нити, обеспечивая более точное считывание. Это помогает поддерживать точность выше 10 торр.

Со временем молекулы будут прилипать к нити, что приведет к неточным измерениям.В зависимости от того, чему подвергался манометр, нить накала можно очистить, налив небольшое количество растворителя на концевую часть фланца, установив контакт с нитью (при выключенном датчике). Это должно быть сделано после анализа SDS растворителя и молекул, используемых в процессе. Оказавшись внутри, устройство можно осторожно покрутить (не как марака), чтобы растворитель вступил в контакт со всей нитью, в надежде растворить некоторые, если не все, застрявшие молекулы.После этого растворитель будет должным образом обработан, и все остаточные количества испарится. Это можно ускорить, включив устройство, которое будет обеспечивать тепло. Эта очистка не гарантирована, так как некоторые молекулы могли вызвать коррозию нити. В этом случае предлагается заменить датчик.


Ионизационные манометры

Все ионизационные датчики с относительно небольшими различиями используют один и тот же принцип. Энергичные электроны ионизируют остаточные газы — положительные ионы собираются на электроде, и ток преобразуется в показания давления.Датчики с горячей нитью (Bayard-Alpert, Schulz-Phelps) используют термоэлектронную эмиссию электронов из горячей проволоки, а датчики с холодным катодом (Penning, Inverted Magnetron) используют электроны из тлеющего разряда или плазмы.

На все измерения ионным манометром серьезно влияет состав газа. Например, отчет в J. Vac. Sci. Tech. указывает, что относительная чувствительность ионного датчика (относительно N 2 = 1) составляет 5 для паров ацетона и 0,18 для He. То есть, одинаковое абсолютное давление этих чистых (газообразных) материалов даст показания манометра, отличающиеся почти в 28 раз.Ионизационные датчики не дают точных измерений абсолютного давления, если они не были недавно откалиброваны с использованием точной газовой смеси, которую необходимо измерить.

Чувствительность

Термин относительная чувствительность, использованный выше, не следует путать с параметром, называемым «чувствительность датчика». Последнее происходит из уравнения, связывающего ток положительных ионов датчика (i p ) для данной эмиссии электронов (i e ) при данном давлении газа (P): i p = S xi e x P или P = 1 / S xi p / i e

Константа пропорциональности (S в единицах обратного давления) — это чувствительность датчика.’ Практические (накаливания) ионные манометры имеют чувствительность в диапазоне от 0,6 Торр -1 до 20 Торр -1 . Это важно при выборе контроллера ионного датчика, поскольку его чувствительность должна находиться в пределах доступного диапазона контроллера. Чем выше чувствительность датчика, тем выше вероятность ионизации молекулы.

Манометры горячей нити

Ион

Типовые характеристики:

  • Газозависимый
  • 1e -9 до 1e -4 Торр (B-A) или 1e -11 до 1e -4 Торр (Nude UHV)
  • 30% точность
  • Типичная рабочая температура: от 0 ° C до 40 ° C

Два обычных ионных манометра с горячей нитью накала, Bayard / Alpert (B-A) и Schulz-Phelps (S-P), различаются только физическим размером и расстоянием между их электродами.Обе имеют нагретые нити, смещенные для получения термоэлектронных электронов с напряжением 70 эВ, достаточно энергичных, чтобы ионизировать любые молекулы остаточного газа, с которыми они сталкиваются. Образовавшиеся положительные ионы перемещаются к коллектору ионов, поддерживаемому при -150 В. Сила тока зависит от плотности газа (количества молекул в каждом куб. См), которая является прямой мерой давления газа.

Со временем датчик с горячей нитью накапливает множество ионизированных молекул, которые необходимо удалить для поддержания точности датчика.Это легко сделать путем «дегазации» агрегата. Это обычная практика с любым датчиком с горячей нитью накала, когда через сеть и коллектор пропускается сильный ток, по существу, спекающий эти части. Этот «прогрев» помогает удалить эти ионизированные молекулы, возвращая устройство в чистое состояние. Однако дегазация не гарантирует удаление всех молекул, поскольку некоторые из них останутся прилипшими к коллектору или даже могут вызвать эрозию. В таких случаях рекомендуется заменить датчик.

Ионный манометр Bayard-Alpert имеет достаточно линейный отклик от 1e -9 до 1e -4 Торр, с чувствительностью от 5 до 20 Торр -1 .Манометры BA доступны с одной или двумя нитями накала (вторая действует как запасная) и с двумя нитями накала, покрытыми иридием, покрытым торием, используемым в приложениях, богатых кислородом, и для защиты от выгорания при случайном сбросе воздуха, и вольфрам, используемый для нижнего стоимость и в остаточных газах, содержащих галогены.

Стандартный манометр B-A измеряет до 1e -9 Торр. Он не опускается ниже, потому что первичные электроны при попадании на сетку генерируют мягкое рентгеновское излучение. Рентгеновское излучение, попадающее на электрод-коллектор ионов, высвобождает фотоэлектрон, который неотличим от поступающих туда положительных ионов.Ниже 1e -9 Торр фотоэлектронная эмиссия составляет достаточно большую часть ионного тока, чтобы искажать показания давления. Специальные структуры B-A с ультратонкими коллекторами ионов будут достигать 10 -10 Торр и, возможно, даже диапазона 10 -11 Торр.

Ионный манометр Nude UHV работает по тому же принципу, что и стандартный Bayard-Alpert, но позволяет проводить более глубокие измерения вакуума, от 1e -11 до 1e -4 Торр.Это изменение базового давления связано с конструкцией манометра, которая включает решетчатую конструкцию в виде корзины и плотные нити.


Манометры с холодным катодом

ColdCathode

Типовые характеристики:

  • Газозависимый
  • 1e -10 до 1e -2 Торр
  • 30% точность
  • Типичная рабочая температура: от 0 ° C до 55 ° C

В датчиках с холодным катодом ионизирующие электроны являются частью самоподдерживающегося разряда.Однако, поскольку CCG не имеет (термоэмиссионной) нити накала, разряд инициируется паразитной полевой эмиссией или внешними событиями (космическими лучами или радиоактивным распадом). При низком давлении это может занять несколько минут, и CCG обычно включаются при высоком давлении (1e -2 Торр или выше). После запуска магнитное поле датчика ограничивает движение электронов по спирали, обеспечивая им большую длину пути и высокую вероятность ионизации остаточного газа. Ионы собираются и измеряются для определения давления газа.

Использовались электроды различной геометрии — цилиндры, пластины, кольца, стержни в различных комбинациях с направлением и силой магнитного поля, выбранными для максимизации измеряемого тока. Если центральные или «концевые» электроды датчика отрицательные, это принято называть магнетроном. Если те же электроды положительные, датчик называется перевернутым магнетроном.

Магнетрон: Первоначальная конструкция Пеннинга (цилиндрический анод и катоды с торцевой пластиной) не была ни точной, ни точной, и ее заменили другими геометрическими формами.Однако название Пеннинга до сих пор используется даже для магнетронов с центральными проволочными или кольцевыми катодами. Рабочее напряжение ограничено (обычно ~ 2 кВ), чтобы избежать эффектов полевой эмиссии, которые вызывают увеличение ионного тока, не связанного с давлением. Хотя новые конструкции магнетронов удовлетворительны, они ограничены верхним диапазоном высокого вакуума и не привлекают большого внимания коммерческой общественности.

Инвертированный магнетрон: Во многом благодаря усилиям Редхеда и его коллег, эта конструкция работает в диапазоне сверхвысокого давления.Его центральный осевой анод входит в катод цилиндра / торцевых пластин через кольца защиты от напряжения (для предотвращения полевой эмиссии, влияющей на измерение ионного тока). Анод имеет гораздо более высокий потенциал, чем нормальный магнетрон (~ 6 кВ), и параллелен магнитному полю датчика. Некоторые коммерчески доступные конструкции перевернутых магнетронов имеют хорошую линейность и рабочие характеристики до 1 x 10 -11 Торр. Однако попытка запустить его при таком низком давлении может занять часы или дни.

В отличие от датчика с горячей нитью, датчик с холодным катодом не имеет нитей или сетки для дегазации. Вместо этого некоторые датчики с холодным катодом могут разбираться, обнажая ионизационную камеру и внутренние стенки датчика. Это воздействие позволяет пользователю буквально протирать внутренние стенки датчика с холодным катодом, помогая удалить молекулы, которые «распылили» на стену. Эта физическая очистка делает манометр с холодным катодом более прочным, чем манометр с горячей нитью.


Комбинированные манометры

Комбинированные датчики, также известные как датчики с широким диапазоном, — это устройства, в которых используются несколько технологий для обеспечения более широкого диапазона измерений, чем любая отдельная технология. Например, наиболее распространенными датчиками широкого диапазона являются комбинация холодного катода / пирани или комбинация пирани с горячей нитью / конвекцией. Эти типы позволят проводить измерения от сверхвысокого напряжения до атмосферы. Поскольку в этих приборах сочетаются разные технологии, обычно существует переходный регион, когда одна технология переходит в другую.Наиболее распространенная область между 10 -2 и 10 -3 , где пирани с усилением пирани / конвекции переходят в технологию ионизации с холодным катодом или горячей нитью. Эти блоки обычно находятся в одном корпусе, что помогает свести к минимуму беспорядок и помогает автоматизировать измерение давления, поскольку пользователю не нужно вручную активировать технологию высокого вакуума.


Анализаторы остаточных газов

Специальные масс-спектрометры, предназначенные для анализа газов, остающихся в вакуумной камере, называются анализаторами остаточных газов или RGA.Обилие информации об экспериментальных или технологических условиях, предлагаемых анализатором арматуры, делает стационарно присоединенное устройство удобным, а зачастую и необходимым диагностическим устройством.

Квадрупольные RGA, названные в честь четырех стержней, используемых в секции массового фильтра, питаются от смешанных высокочастотных и постоянных напряжений. Полная информация о работе выходит за рамки этого текста, но адекватно рассматривается во многих книгах, таких как Dawson’s Quadrupole Mass Spectrometry And Its Applications и монография AVS Дринквайна и др., Partial Pressure Analyzers and Analysis .Квадрупольный анализатор (или головка датчика) прикручивается к вакуумной системе. Он состоит из ионизатора (источника ионов), подключенного к массовому фильтру, который, в свою очередь, присоединен к ионному детектору, и все они установлены на фланце сверхвысокого вакуума (часто наружный диаметр 2-3⁄4 дюйма), через который проходят вводы для питания и сигналов. . Комбинированное РЧ / постоянное напряжение генерируется рядом с головкой датчика. Отсюда к шасси управления и дисплею или настольному ПК подключается только напряжение основного источника питания и информация о возвращаемом сигнале.В ионизаторе атомы и молекулы нейтрального газа бомбардируются электронами с напряжением 70 эВ от горячей нити. Ионизированные частицы выводятся в квадруполь, где передаются только те ионы с соответствующим отношением массы к заряду (m / e) для приложенных напряжений RF / DC. Изменяя со временем напряжение RF / DC, сканируются отношения m / e, и ионный ток на каждой массе записывается в виде спектра.

Для диагностики проблем с вакуумом с помощью RGA требуется только набор схем фрагментации, по которым можно быстро определить следующее: наличие утечек воздуха и воды; неприемлемые уровни активных газов, таких как O 2 , H 2 и H 2 O, возврат масла в насос, присутствие соединений Fl или Cl; требования к регенерации крионасоса и чистота засыпных газов.Поскольку RGA работает при давлении 10 -4 Торр или ниже, процессы высокого давления анализируются с помощью RGA, установленного во вспомогательной вакуумной системе, часто на мобильной тележке, перемещаемой на различные вакуумные станции.

Детекторы утечки

Детекторы утечки — это масс-спектрометры, которые обнаруживают только ионы гелия при m / e = 4. Поскольку они специфичны, они обнаруживают чрезвычайно малые концентрации гелия в присутствии большого количества других газов. Как следует из названия, эти устройства определяют наличие утечек и помогают их обнаружить.Превосходные инструкции по обнаружению утечек доступны в книге Харриса, Modern Vacuum Practice , или как часть учебной программы нашего университета Лескера.

Испытуемая камера и течеискатель соединены вакуумной трубкой, и камера откачивается с помощью собственной вакуумной системы течеискателя. Гелий распыляется из тонкого сопла на поверхность камеры, где он вытесняет воздух, диффундирующий через утечку, только в то время как зонд направлен на место утечки.Распространенное заблуждение, что давление в камере должно быть низким, прежде чем можно будет начать испытание на герметичность. Фактически, давление в камере ниже 10 -2 Торр требуется редко. Как только впускной клапан течеискателя полностью открыт, дальнейшие усилия по снижению давления в камере только тратят время. Например, во время 11-летнего опыта работы одного оператора по проверке герметичности большинство утечек было обнаружено, в то время как впускной клапан течеискателя был сломан лишь частично. Утечки более 1 x 10 -5 атм см3 / сек.являются наиболее распространенными — «некоторые» утечки были в диапазоне 1 x 10 -6 атм см3 / сек. В диапазоне 1 x 10 -7 атм см3 / сек было шесть утечек. диапазон, два в 1 x 10 -8 атм см / сек. диапазон, и только один в диапазоне 1 x 10 -9 атм см / сек. Поскольку у большинства течеискателей минимальная обнаруживаемая скорость утечки составляет 1 x 10 -10 атм куб. См / сек., Чувствительность обнаружения редко является проблемой для обнаружения реальных утечек.

.

Как откалибровать манометры

  • ENG
  • GER
  • ESP
  • FRA